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尤晓刚, 贺蓉, 高峰, 邵君, 潘碧峰, 崔大祥
2007, Vol. 65(6): 561-565
(微米/纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科技研究院 上海 200030)