扫码分享
王晓钰, 张渝, 马磊, 魏良明
2019, Vol. 77(1): 24-40
doi: 10.6023/A18070272
教育部薄膜与微细加工重点实验室 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 上海 200240