化学学报 ›› 2012, Vol. 70 ›› Issue (08): 961-967.DOI: 10.6023/A1107195 上一篇 下一篇
研究论文
杨亚杰, 徐建华, 蒋亚东, 闻俊峰
Yang Yajie, Xu Jianhua, Jiang Yadong, Wen Junfeng
采用静电自组装方法在五氧化二钽(Ta2O5)介质氧化膜上制备了聚二烯丙基二甲基氯化铵(PDDA)/聚苯乙烯磺酸钠(PSS)和聚二烯丙基二甲基氯化铵/聚-3,4-乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸钠(PEDOT-PSS)超薄膜. 研究了两种自组装超薄膜在Ta2O5 介质氧化薄膜上的组装特性. 结果表明两种自组装膜能够稳定地组装于Ta2O5 介质膜表面, 并有效降低薄膜的表面粗糙度. 进一步研究了两种自组装超薄膜修饰的Ta2O5 电容结构的电性能. 结果表明静电自组装膜对Ta2O5 介质膜表面进行修饰后, 有效地隔离了介质氧化膜中的缺陷, 降低了电容的漏电流并提高耐电压能力; 研究还发现不同厚度的超薄膜对Ta2O5 电容结构的耐压特性有不同程度的影响, 较厚的薄膜可以更好地提高电容的耐压能力并降低漏电流, 但会增加电容的等效串联电阻(ESR). 另外, 在相同薄膜层数的情况下, 聚合物电解质PEDOT-PSS 良好的导电性能降低了复合超薄膜的电阻, 使得PDDA/PEDOT-PSS 修饰的电容结构ESR 值较低.