单晶硅表面贵金属晶粒层的制备

单晶硅表面贵金属晶粒层的制备

苏旭,常彦龙,马传利,王春明

Preparation of Noble Metal Seed Layers on Monocrystal Silicon

SU, Xu, CHANG, Yan-Long, MA, Chuan-Li, WANG, Chun-Ming*

化学学报 . 2008, (10): 1215 -1220 .