Application of Low Temperature Atomic Layer Deposition Packaging Technology in OLED and Its Implications for Organic and Perovskite Solar Cell Packaging
Received date: 2021-11-12
Online published: 2022-01-11
Supported by
National Natural Science Foundation of China(51672094); National Natural Science Foundation of China(51861145404); National Natural Science Foundation of China(51822203); National Natural Science Foundation of China(52002140); National Natural Science Foundation of China(21401167); Self-determined and Innovative Research Funds of HUST(2018KFYRCPY003); Self-determined and Innovative Research Funds of HUST(2020kfyXJJS008); Natural Science Foundation of Hubei Province(ZRMS2020001132); Shenzhen Science and Technology Innovation Committee(JCYJ20180507182257563)
Organic semiconductor optoelectronic devices have made rapid development and progress in both research and industrial applications. The related directions have become a mature and emerging field. However, the organic materials in such devices usually are extremely sensitive to water vapor or oxygen existed in ambient air, which seriously affects the long-term stability of the devices. In addition to interface engineering, selecting appropriate charge (holes or electrons) transport layers and interfacial materials to improve the water and oxygen tolerance of the device and packing the device with robust encapsulation are all effective strategies to isolate the device from the water and oxygen in ambient air. Among various encapsulation technologies, atomic layer deposition (ALD) is an almost perfect encapsulation approach, which could deposit thin films in the layer-by-layer growth mode at low-temperature, with the characteristics of accurate and controllable thickness, high repeatability, excellent uniformity and high density. These characteristics make ALD to be widely used in semiconductor industry. Here, we review the progress of the applications of the ALD encapsulation techniques in organic light emitting diode (OLED) and provide further discussions on the enlightening significance of ALD encapsulation techniques in organic photovoltaics (OPV) and perovskite solar cell (PSC) encapsulations.
Jing Zhou , Xueying Tian , Binkai Wang , Shasha Zhang , Zonghao Liu , Wei Chen . Application of Low Temperature Atomic Layer Deposition Packaging Technology in OLED and Its Implications for Organic and Perovskite Solar Cell Packaging[J]. Acta Chimica Sinica, 2022 , 80(3) : 395 -422 . DOI: 10.6023/A21110513
| [1] | Kojima, A.; Teshima, K.; Shirai, Y.; Miyasaka, T. J. Am. Chem. Soc. 2009, 131, 6050. |
| [2] | Zhao, B.; Bai, S.; Kim, V.; Lamboll, R.; Shivanna, R.; Auras, F.; Richter, J. M.; Yang, L.; Dai, L.; Alsari, M.; She, X.-J.; Liang, L.; Zhang, J.; Lilliu, S.; Gao, P.; Snaith, H. J.; Wang, J.; Greenham, N. C.; Friend, R. H.; Di, D. Nat Photonics 2018, 12, 783. |
| [3] | Yuan, J.; Zhang, Y.; Zhou, L.; Zhang, G.; Yip, H.-L.; Lau, T.-K.; Lu, X.; Zhu, C.; Peng, H.; Johnson, P. A.; Leclerc, M.; Cao, Y.; Ulanski, J.; Li, Y.; Zou, Y. Joule 2019, 3, 1140. |
| [4] | Lee, M. M.; Teuscher, J.; Miyasaka, T.; Murakami, T. N.; Snaith, H. J. Science 2012, 338, 643. |
| [5] | Hu, X.-M.; Zhong, C.-X.; Li, X.-Y.; Jia, X.; Wei, Y.; Xie, L.-H. Acta Chim. Sinica 2021, 79, 953. (in Chinese) |
| [5] | (胡鑫明, 钟春晓, 李晓艳, 贾雄, 魏颖, 解令海, 化学学报, 2021, 79, 953.) |
| [6] | Miao, J.-H.; Ding, Z.-C.; Liu, J.; Wang, L.-X. Acta Chim. Sinica 2021, 79, 545. (in Chinese) |
| [6] | (苗俊辉, 丁自成, 刘俊, 王利祥, 化学学报, 2021, 79, 545.) |
| [7] | Zhou, M.; Li, J.; Chneg, J.; Ge, C.-W.; Cheng, T.-Y.; Gao, X.-K. Chin. J. Org. Chem. 2021, 41, 4400. (in Chinese) |
| [7] | (周敏, 李晶, 程杰, 葛从伍, 程探宇, 高希珂, 有机化学, 2021, 41, 4400.) |
| [8] | Bian, Y.-S.; Liu, K.; Guo, Y.-L.; Liu, Y.-Q. Acta Chim. Sinica 2020, 78, 848. (in Chinese) |
| [8] | (边洋爽, 刘凯, 郭云龙, 刘云圻, 化学学报, 2020, 78, 848.) |
| [9] | Hou, B.; Li, J.; Xin, Z.-H.; Yang, X.-D.; Gao, H.-L.; Peng, P.-Z.; Gao, X.-K. Acta Chim. Sinica 2020, 78, 788. (in Chinese) |
| [9] | (侯斌, 李晶, 辛涵申, 杨笑迪, 高洪磊, 彭培珍, 高希珂, 化学学报, 2020, 78, 788.) |
| [10] | Liu, H.; Zhang, X.-F.; Cheng, J.-Z.; Ye, D.-D.; Chen, L.; Wen, H.-R.; Liu, S.-Y. Chin. J. Org. Chem. 2020, 40, 831. (in Chinese) |
| [10] | (刘慧, 张小凤, 程敬招, 叶东鼐, 陈龙, 温和瑞, 刘诗咏, 有机化学, 2020, 40, 831.) |
| [11] | Cai, J.-F.; Jiang, H.; Cui, Z.-H.; Chen, W.-G. Chin. J. Org. Chem. 2020, 40, 351. (in Chinese) |
| [11] | (蔡金芳, 江华, 崔志华, 陈维国, 有机化学, 2020, 40, 351.) |
| [12] | Dai, X.-X.; Cheng, X.-D.; Kan, Z.-P.; Xiao, Z.-Y.; Duan, T.-N.; Hu, C.; Lu, S.-R. Chin. J. Org. Chem. 2020, 40, 4031. (in Chinese) |
| [12] | (戴学新, 成晓东, 阚志鹏, 肖泽云, 段泰男, 胡超, 陆仕荣, 有机化学, 2020, 40, 4031.) |
| [13] | Jiang, D.-N.; Yan, K.-R.; Li, C.-Z. Acta Chim. Sinica 2020, 78, 1287. (in Chinese) |
| [13] | (蒋丹妮, 严康荣, 李昌治, 化学学报, 2020, 78, 1287.) |
| [14] | Li, T.-F.; Zhan, X.-W. Acta Chim. Sinica 2021, 79, 257 (In Chinese). |
| [14] | (李腾飞, 占肖卫, 化学学报, 2021, 79, 257.) |
| [15] | Park, S.; Yun, W. M.; Kim, L. H.; Park, S.; Kim, S. H.; Park, C. E. Org. Electron. 2013, 14, 3385. |
| [16] | Cheng, P.; Zhan, X. Chem. Soc. Rev. 2016, 45, 2544. |
| [17] | Norrman, K.; Gevorgyan, S. A.; Krebs, F. C. ACS Appl. Mater. Interfaces 2009, 1, 102. |
| [18] | Fu, Q.; Tang, X.; Huang, B.; Hu, T.; Tan, L.; Chen, L.; Chen, Y. Adv. Sci. (Weinh) 2018, 5, 1700387. |
| [19] | Yang, D.; Yang, Y. q.; Duan, Y.; Chen, P.; Zang, C. L.; Xie, Y.; Liu, D. M.; Wang, X.; Duan, Y. H.; Sun, F. B.; Gao, Q.; Xue, K. W. ECS Solid State Lett. 2013, 2, R31. |
| [20] | Eperon, G. E.; Habisreutinger, S. N.; Leijtens, T.; Bruijnaers, B. J.; van Franeker, J. J.; deQuilettes, D. W.; Pathak, S.; Sutton, R. J.; Grancini, G.; Ginger, D. S.; Janssen, R. A. J.; Petrozza, A.; Snaith, H. J. ACS Nano 2015, 9, 9380. |
| [21] | Wu, Z.; Bai, S.; Xiang, J.; Yuan, Z.; Yang, Y.; Cui, W.; Gao, X.; Liu, Z.; Jin, Y.; Sun, B. Nanoscale 2014, 6, 10505. |
| [22] | Kimura, M.; Kuwano, S.; Sawaki, Y.; Fujikawa, H.; Noda, K.; Taga, Y.; Takagi, K. J. Mater. Chem. 2005, 15, 2393. |
| [23] | Ke, W.; Fang, G.; Liu, Q.; Xiong, L.; Qin, P.; Tao, H.; Wang, J.; Lei, H.; Li, B.; Wan, J.; Yang, G.; Yan, Y. J. Am. Chem. Soc. 2015, 137, 6730. |
| [24] | Bolink, H. J.; Coronado, E.; Repetto, D.; Sessolo, M.; Barea, E. M.; Bisquert, J.; Garcia-Belmonte, G.; Prochazka, J.; Kavan, L. Adv. Funct. Mater. 2008, 18, 145. |
| [25] | Wöhrle, D.; Meissner, D. Adv. Mater. 1991, 3, 129. |
| [26] | Smith, I. C.; Hoke, E. T.; Solis-Ibarra, D.; McGehee, M. D.; Karunadasa, H. I. Angew. Chem. Int. Ed. 2014, 53, 11232. |
| [27] | Zhou, H.; Chen, Q.; Li, G.; Luo, S.; Song, T.-b.; Duan, H.-S.; Hong, Z.; You, J.; Liu, Y.; Yang, Y. Science 2014, 345, 542. |
| [28] | Zhang, J.; Hu, Z.; Huang, L.; Yue, G.; Liu, J.; Lu, X.; Hu, Z.; Shang, M.; Han, L.; Zhu, Y. Chem. Commun. (Camb) 2015, 51, 7047. |
| [29] | Weerasinghe, H. C.; Dkhissi, Y.; Scully, A. D.; Caruso, R. A.; Cheng, Y.-B. Nano Energy 2015, 18, 118. |
| [30] | Shi, L.; Bucknall, M. P.; Young, T. L.; Zhang, M.; Hu, L.; Bing, J.; Lee, D. S.; Kim, J.; Wu, T.; Takamure, N.; McKenzie, D. R.; Huang, S.; Green, M. A.; Ho-Baillie, A. W. Y. Science 2020, 368, 1328. |
| [31] | Han, Y.; Meyer, S.; Dkhissi, Y.; Weber, K.; Pringle, J. M.; Bach, U.; Spiccia, L.; Cheng, Y.-B. J. Mater. Chem. A 2015, 3, 8139. |
| [32] | Dong, Q.; Liu, F.; Wong, M. K.; Tam, H. W.; Djurisic, A. B.; Ng, A.; Surya, C.; Chan, W. K.; Ng, A. M. ChemSusChem 2016, 9, 2597. |
| [33] | Cheacharoen, R.; Boyd, C. C.; Burkhard, G. F.; Leijtens, T.; Raiford, J. A.; Bush, K. A.; Bent, S. F.; McGehee, M. D. Sustain. Energ. Fuels 2018, 2, 2398. |
| [34] | Satoh, R.-i.; Ro, T.; Heo, C.-J.; Lee, G. H.; Xianyu, W.; Park, Y.; Park, J.; Lim, S.-J.; Leem, D.-S.; Bulliard, X.; Kim, Y.; Bae, K.; Yang, W.-Y.; Park, K.-B.; Jin, Y. W.; Lee, S. Org. Electron. 2017, 41, 259. |
| [35] | Michels, J. J.; Peter, M.; Salem, A.; van Remoortere, B.; van den Brand, J. J. Mater. Chem. C 2014, 2, 5759. |
| [36] | Tranchida, D.; Piccarolo, S.; Soliman, M. Macromolecules 2006, 39, 4547. |
| [37] | Bernardi, A.; Macko, J.; Po, R.; Mahony, A.; Scudo, P.; Bulovic, V. Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2013, 10, 1. |
| [38] | Kim, B. J.; Kim, D. H.; Kang, S. Y.; Ahn, S. D.; Im, S. G. J. Appl. Polym. Sci. 2014, 131, 40030. |
| [39] | Yang, C.; Bi, H.; Wan, D.; Huang, F.; Xie, X.; Jiang, M. J. Mater. Chem. A 2013, 1, 770. |
| [40] | Zhang, C.-X.; Song, G.-P.; Sun, Y.; Zhao, Y.-J.; He, X.-D. Mater. Rev. 2012, 26(S2), 124. (in Chinese) |
| [40] | (张传鑫, 宋广平, 孙跃, 赵轶杰, 赫晓东, 材料导报, 2012, 26(S2), 124.) |
| [41] | Sang, R.; Zhang, H.; Long, L.; Hua, Z.; Yu, J.; Wei, B.; Wu, X.; Feng, T.; Zhang, J. 2011 12th International Conference on Electronic Packaging Technology and High Density Packaging, IEEE, Shanghai, 2011, pp. 1-4. |
| [42] | Ono, S.; Häusermann, R.; Chiba, D.; Shimamura, K.; Ono, T.; Batlogg, B. Appl. Phys. Lett. 2014, 104, 013307. |
| [43] | Chen, T.; Xue, Y.; Roy, A. K.; Dai, L. ACS Nano 2014, 8, 1039. |
| [44] | Kukli, K.; Ritala, M.; Leskelä, M. Chem. Vap. Deposition 2000, 6, 297. |
| [45] | George, S. M. Chem. Rev. 2010, 110, 111. |
| [46] | Ghazaryan, L.; Kley, E. B.; Tünnermann, A.; Szeghalmi, A. Nanotechnology 2016, 27, 255603. |
| [47] | Koushik, D.; Verhees, W. J. H.; Kuang, Y.; Veenstra, S.; Zhang, D.; Verheijen, M. A.; Creatore, M.; Schropp, R. E. I. Energ. Environ. Sci. 2017, 10, 91. |
| [48] | Khalily, M. A.; Patil, B.; Yilmaz, E.; Uyar, T. Nanoscale Adv. 2019, 1, 1224. |
| [49] | Donders, M. E.; Knoops, H. C. M.; Kessels, W. M. M.; Notten, P. H. L. J. Power Sources 2012, 203, 72. |
| [50] | Hyde, G. K.; McCullen, S. D.; Jeon, S.; Stewart, S. M.; Jeon, H.; Loboa, E. G.; Parsons, G. N. Biomed. Mater. 2009, 4, 025001. |
| [51] | Leskelä, M.; Ritala, M. Thin Solid Films 2002, 409, 138. |
| [52] | Hao, H.; Chen, X.; Li, Z.; Shen, Y.; Wang, H.; Zhao, Y.; Huang, R.; Liu, T.; Liang, J.; An, Y.; Peng, Q.; Ding, S. J. Semicond. 2019, 40, 012806. |
| [53] | Mackus, A. J. M.; Schneider, J. R.; MacIsaac, C.; Baker, J. G.; Bent, S. F. Chem. Mater. 2019, 31, 1142. |
| [54] | Lee, S.; Han, J.-H.; Lee, S.-H.; Baek, G.-H.; Park, J.-S. JOM 2018, 71, 197. |
| [55] | Seo, S.; Jeong, S.; Park, H.; Shin, H.; Park, N. G. Chem. Commun. (Camb) 2019, 55, 2403. |
| [56] | Zhou, B.; Liu, M.; Wen, Y.; Li, Y.; Chen, R. Opto-Electron. Adv. 2020, 3, 19004301. |
| [57] | Hossain, M. A.; Khoo, K. T.; Cui, X.; Poduval, G. K.; Zhang, T.; Li, X.; Li, W. M.; Hoex, B. Nano Mater. Sci. 2020, 2, 204. |
| [58] | Lu, Q.; Yang, Z.; Meng, X.; Yue, Y.; Ahmad, M. A.; Zhang, W.; Zhang, S.; Zhang, Y.; Liu, Z.; Chen, W. Adv. Funct. Mater. 2021, 31, 2100151. |
| [59] | Perrotta, A.; Fuentes-Hernandez, C.; Khan, T. M.; Kippelen, B.; Creatore, M.; Graham, S. J. Phys D: Appl. Phys. 2016, 50, 024003. |
| [60] | De Keijser, M.; Van Opdorp, C. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 1187. |
| [61] | Jahanfar, M.; Suwa, K.; Tsuchiya, K.; Ogino, K. O. Open J. Org. Polym. Mater. 2013, 03, 46. |
| [62] | Reineke, S.; Lindner, F.; Schwartz, G.; Seidler, N.; Walzer, K.; Lüssem, B.; Leo, K. Nature 2009, 459, 234. |
| [63] | Adachi, C.; Baldo, M. A.; Forrest, S. R.; Thompson, M. E. Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 904. |
| [64] | Schaer, M.; Nüesch, F.; Berner, D.; Leo, W.; Zuppiroli, L. Adv. Funct. Mater. 2001, 11, 116. |
| [65] | Kim, N.; Potscavage, W. J.; Domercq, B.; Kippelen, B.; Graham, S. Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 163308. |
| [66] | O'Brien, D. F.; Baldo, M. A.; Thompson, M. E.; Forrest, S. R. Appl. Phys. Lett. 1999, 74, 442. |
| [67] | Schubert, S.; Klumbies, H.; Muller-Meskamp, L.; Leo, K. Rev. Sci. Instrum. 2011, 82, 094101. |
| [68] | Riedl, T.; Winkler, T.; Schmidt, H.; Meyer, J.; Schneidenbach, D.; Johannes, H.-H.; Kowalsky, W.; Weimann, T.; Hinze, P. 2010 IEEE International Reliability Physics Symposium, IEEE, Anaheim, 2010, pp. 327-333. |
| [69] | S.Holdcroft, Macromolecules 1991, 24, 4834. |
| [70] | Abdou, M. S. A.; Holdcroft, S. Macromolecules 1993, 26, 2954. |
| [71] | Abdou, M.; Holdcroft, S. Can. J. Chem. 2011, 73, 1893. |
| [72] | Rivaton, A.; Chambon, S.; Manceau, M.; Gardette, J.-L.; Lemaître, N.; Guillerez, S. Polym. Degrad. Stab. 2010, 95, 278. |
| [73] | Manceau, M.; Rivaton, A.; Gardette, J.-L. Macromol. Rapid Commun. 2008, 29, 1823. |
| [74] | Golovnin, I. V.; Bakulin, A. A.; Zapunidy, S. A.; Nechvolodova, E. M.; Paraschuk, D. Y. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 243311. |
| [75] | Paul, E. B.; Gordon, L. G.; Mark, E. G.; Peter, M. M.; Michael, H.; Eric, M.; Charles, C. B.; Wendy, D. B.; Lech, A. M.; Michael, S. W.; Julie, J. B.; Fogarty, D.; Linda, S. S. 2001 International Symposium on Optical Science and Technology, SPIE, San Diego, 2000, pp. 75-83. |
| [76] | Jørgensen, M.; Norrman, K.; Gevorgyan, S. A.; Tromholt, T.; Andreasen, B.; Krebs, F. C. Adv. Mater. 2012, 24, 580. |
| [77] | Norrman, K.; Madsen, M. V.; Gevorgyan, S. A.; Krebs, F. C. J. Am. Chem. Soc. 2010, 132, 16883. |
| [78] | Dao, Q.-D.; Fujii, A.; Tsuji, R.; Ozaki, M. Appl. Phys. Express 2019, 12, 112009. |
| [79] | Zhang, Y.; Lv, H.; Cui, C.; Xu, L.; Wang, P.; Wang, H.; Yu, X.; Xie, J.; Huang, J.; Tang, Z.; Yang, D. Nanotechnology 2017, 28, 205401. |
| [80] | Lee, Y.; Seo, S.; Oh, I.-K.; Lee, S.; Kim, H. Ceram. Int. 2019, 45, 17662. |
| [81] | Carcia, P. F.; McLean, R. S.; Groner, M. D.; Dameron, A. A.; George, S. M. J. Appl. Phys. 2009, 106, 023533. |
| [82] | Yang, Y.-Q.; Duan, Y.; Chen, P.; Sun, F.-B.; Duan, Y.-H.; Wang, X.; Yang, D. J. Phys. Chem. C 2013, 117, 20308. |
| [83] | da Silva Sobrinho, A. S.; Czeremuszkin, G.; Latrèche, M.; Dennler, G.; Wertheimer, M. R. Surf. Coat. Technol. 1999, 116-119, 1204. |
| [84] | Duan, Y.; Sun, F.; Yang, Y.; Chen, P.; Yang, D.; Duan, Y.; Wang, X. ACS Appl. Mater. Interfaces 2014, 6, 3799. |
| [85] | Choi, Y. J.; Yong, S. H.; Kim, S. J.; Hwangbo, H.; Cho, S. M.; Pu, L. S.; Chae, H. Thin Solid Films 2019, 690, 137524. |
| [86] | Su, D.-Y.; Kuo, Y.-H.; Tseng, M.-H.; Tsai, F.-Y. J. Coat. Technol. Res. 2019, 16, 1751. |
| [87] | Park, J.; Seth, J.; Cho, S.; Sung, M. M. Appl. Surf. Sci. 2020, 502, 144109. |
| [88] | Nam, T.; Lee, H.; Seo, S.; Cho, S. M.; Shong, B.; Lee, H.-B.-R.; Kim, H. Ceram. Int. 2019, 45, 19105. |
| [89] | Chen, G.; Weng, Y.; Sun, F.; Zhou, X.; Wu, C.; Yan, Q.; Guo, T.; Zhang, Y. RSC Adv. 2019, 9, 20884. |
| [90] | Kim, H. G.; Lee, J. G.; Kim, S. S. Org. Electron. 2018, 52, 98. |
| [91] | Yong, S. H.; Kim, S. J.; Park, J. S.; Cho, S. M.; Ahn, H. J.; Chae, H. J. Korean Phys. Soc. 2018, 73, 40. |
| [92] | Wu, J.; Fei, F.; Wei, C.; Chen, X.; Nie, S.; Zhang, D.; Su, W.; Cui, Z. RSC Adv. 2018, 8, 5721. |
| [93] | Wang, L.; Ruan, C.; Li, M.; Zou, J.; Tao, H.; Peng, J.; Xu, M. J. Mater. Chem. C 2017, 5, 4017. |
| [94] | Yoon, K. H.; Kim, H. S.; Han, K. S.; Kim, S. H.; Lee, Y. K.; Shrestha, N. K.; Song, S. Y.; Sung, M. M. ACS Appl. Mater. Interfaces 2017, 9, 5399. |
| [95] | Yoon, K. H.; Kim, H.; Koo Lee, Y.-E.; Shrestha, N. K.; Sung, M. M. RSC Adv. 2017, 7, 5601. |
| [96] | Jeong, E. G.; Han, Y. C.; Im, H.-G.; Bae, B.-S.; Choi, K. C. Org. Electron. 2016, 33, 150. |
| [97] | Oh, J.; Shin, S.; Park, J.; Ham, G.; Jeon, H. Thin Solid Films 2016, 599, 119. |
| [98] | Lim, S. H.; Seo, S.-W.; Lee, H.; Chae, H.; Cho, S. M. Korean J. Chem. Eng. 2016, 33, 1971. |
| [99] | Zhou, Z.-W.; Li, M.; Xu, M.; Zou, J.-H.; Wang, L.; Peng, J.-B. CJLCD 2016, 31, 532. (in Chinese) |
| [99] | (周忠伟, 李民, 徐苗, 邹建华, 王磊, 彭俊彪, 液晶与显示, 2016, 31, 532.) |
| [100] | Tseng, M. H.; Yu, H. H.; Chou, K. Y.; Jou, J. H.; Lin, K. L.; Wang, C. C.; Tsai, F. Y. Nanotechnology 2016, 27, 295706. |
| [101] | Li, M.; Xu, M.; Zou, J.; Tao, H.; Wang, L.; Zhou, Z.; Peng, J. Nanotechnology 2016, 27, 494003. |
| [102] | Kim, E.; Han, Y.; Kim, W.; Choi, K. C.; Im, H.-G.; Bae, B.-S. Org. Electron. 2013, 14, 1737. |
| [103] | Gao, Q.; Yang, D.; Yang, Y.-Q.; Tao, Y.; Liu, Y.-F.; Duan, Y.; Chen, P. J. Optoelectronics.Laser 2014, 25, 1721. (in Chinese) |
| [103] | (高强, 杨丹, 杨永强, 陶冶, 刘云飞, 段羽, 陈平, 光电子. 激光, 2014, 25, 1721.) |
| [104] | Duan, Y.; Wang, X.; Duan, Y.-H.; Yang, Y.-Q.; Chen, P.; Yang, D.; Sun, F.-B.; Xue, K.-W.; Hu, N.; Hou, J.-W. Org. Electron. 2014, 15, 1936. |
| [105] | Chen, Z.; Wang, H.; Wang, X.; Chen, P.; Liu, Y.; Zhao, H.; Zhao, Y.; Duan, Y. Sci. Rep. 2017, 7, 40061. |
| [106] | Kwon, J. H.; Jeon, Y.; Choi, S.; Park, J. W.; Kim, H.; Choi, K. C. ACS Appl. Mater. Interfaces 2017, 9, 43983. |
| [107] | Kwon, J. H.; Jeong, E. G.; Jeon, Y.; Kim, D. G.; Lee, S.; Choi, K. C. ACS Appl. Mater. Interfaces 2019, 11, 3251. |
| [108] | Klumbies, H.; Schmidt, P.; Hähnel, M.; Singh, A.; Schroeder, U.; Richter, C.; Mikolajick, T.; Hoßbach, C.; Albert, M.; Bartha, J. W.; Leo, K.; Müller-Meskamp, L. Org. Electron. 2015, 17, 138. |
| [109] | Carcia, P. F.; McLean, R. S.; Reilly, M. H.; Groner, M. D.; George, S. M. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 031915. |
| [110] | Langereis, E.; Keijmel, J.; van de Sanden, M. C. M.; Kessels, W. M. M. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 231904. |
| [111] | Luo, Y.; Li, T.-J.; Duan, Y. J. Optoelectronics.Laser 2014, 25, 840. (in Chinese) |
| [111] | (骆杨, 李天骄, 段羽, 光电子. 激光, 2014, 25, 840.) |
| [112] | Clark, M. D.; Jespersen, M. L.; Patel, R. J.; Leever, B. J. Org. Electron. 2014, 15, 1. |
| [113] | Lv, Y.; Xu, P.; Ren, G.; Chen, F.; Nan, H.; Liu, R.; Wang, D.; Tan, X.; Liu, X.; Zhang, H.; Chen, Z.-K. ACS Appl. Mater. Interfaces 2018, 10, 23928. |
| [114] | Batra, N.; Gope, J.; Vandana; Panigrahi, J.; Singh, R.; Singh, P. K. AIP Advances 2015, 5, 067113. |
| [115] | Ahvenniemi, E.; Akbashev, A. R.; Ali, S.; Bechelany, M.; Berdova, M.; Boyadjiev, S.; Cameron, D. C.; Chen, R.; Chubarov, M.; Cremers, V.; Devi, A.; Drozd, V.; Elnikova, L.; Gottardi, G.; Grigoras, K.; Hausmann, D. M.; Hwang, C. S.; Jen, S.-H.; Kallio, T.; Kanervo, J.; Khmelnitskiy, I.; Kim, D. H.; Klibanov, L.; Koshtyal, Y.; Krause, A. O. I.; Kuhs, J.; Kärkkänen, I.; Kääriäinen, M.-L.; Kääriäinen, T.; Lamagna, L.; Łapicki, A. A.; Leskelä, M.; Lipsanen, H.; Lyytinen, J.; Malkov, A.; Malygin, A.; Mennad, A.; Militzer, C.; Molarius, J.; Norek, M.; Özgit-Akgün, Ç.; Panov, M.; Pedersen, H.; Piallat, F.; Popov, G.; Puurunen, R. L.; Rampelberg, G.; Ras, R. H. A.; Rauwel, E.; Roozeboom, F.; Sajavaara, T.; Salami, H.; Savin, H.; Schneider, N.; Seidel, T. E.; Sundqvist, J.; Suyatin, D. B.; Törndahl, T.; van Ommen, J. R.; Wiemer, C.; Ylivaara, O. M. E.; Yurkevich, O. J. Vac. Sci. Technol. A 2016, 35, 010801. |
| [116] | Yang, Y. Q.; Yu, D.; Duan, Y. H.; Wang, X.; Chen, P.; Yang, D.; Sun, F. B.; Xue, K. W. Org. Electron. 2014, 15, 1120. |
| [117] | Yang, Y. Q.; Yu, D. J. Phys. Chem C 2014, 118, 18783. |
| [118] | Li, M.; Gao, D.; Li, S.; Zhou, Z.; Zou, J.; Tao, H.; Wang, L.; Xu, M.; Peng, J. RSC Adv. 2015, 5, 104613. |
| [119] | Sarkar, S.; Culp, J. H.; Whyland, J. T.; Garvan, M.; Misra, V. Org. Electron. 2010, 11, 1896. |
| [120] | Kim, I. S.; Martinson, A. B. F. J. Mater. Chem. A 2015, 3, 20092. |
| [121] | Chalker, P. R. Surf. Coat. Tech. 2016, 291, 258. |
| [122] | Kim, H. G.; Lee, J. G.; Kim, S. S. Org. Electron. 2017, 50, 239. |
| [123] | Jarvis, K. L.; Evans, P. J.; Triani, G. Surf. Coat. Tech. 2018, 337, 44. |
| [124] | Wang, H.; Zhao, Y.; Wang, Z.; Liu, Y.; Zhao, Z.; Xu, G.; Han, T.-H.; Lee, J.-W.; Chen, C.; Bao, D.; Huang, Y.; Duan, Y.; Yang, Y. Nano Energy 2020, 69, 104375. |
| [125] | Hoffmann, L.; Theirich, D.; Pack, S.; Kocak, F.; Schlamm, D.; Hasselmann, T.; Fahl, H.; Räupke, A.; Gargouri, H.; Riedl, T. ACS Appl. Mater. Interfaces 2017, 9, 4171. |
| [126] | Henke, T.; Knaut, M.; Hossbach, C.; Geidel, M.; Albert, M.; Bartha, J. W. Surf. Coat. Tech. 2017, 309, 600. |
| [127] | Puurunen, R. L. Chem. Vap. Deposition 2003, 9, 327. |
| [128] | Guerra, C.; Döebeli, M.; Michler, J.; Utke, I. Chem. Mater. 2017, 29, 8690. |
| [129] | Muneshwar, T.; Cadien, K. J. Appl. Phys. 2018, 124, 095302. |
| [130] | Wang, H.; Wang, Z.; Xu, X.; Liu, Y.; Chen, C.; Chen, P.; Hu, W.; Duan, Y. Appl. Phys. Lett. 2019, 114, 201902. |
| [131] | Chang, C.-Y.; Lee, K.-T.; Huang, W.-K.; Siao, H.-Y.; Chang, Y.-C. Chem. Mater. 2015, 27, 5122. |
| [132] | Ramos, F. J.; Maindron, T.; Béchu, S.; Rebai, A.; Frégnaux, M.; Bouttemy, M.; Rousset, J.; Schulz, P.; Schneider, N. Sustain. Energy Fuels 2018, 2, 2468. |
| [133] | Singh, R.; Ghosh, S.; Subbiah, A. S.; Mahuli, N.; Sarkar, S. K. Sol. Energy Mater Sol. Cells 2020, 205, 110289. |
| [134] | Potscavage, W. J.; Yoo, S.; Domercq, B.; Kippelen, B. Appl. Phys Lett. 2007, 90, 253511. |
| [135] | Clark, M. D.; Maschmann, M. R.; Patel, R. J.; Leever, B. J. Sol. Energy Mater Sol. Cells 2014, 128, 178. |
| [136] | Vianou Irénée Madogni, M. A. Basile, Bruno Kounouhéwa,; Olivier Douhéret, R. L. Adv. Mater. Phys. Chem. 2018, 8, 321. |
| [137] | Türkmen, T. A.; Öztürk, S.; Çırpan, A.; Yerli, Y.; Aslan, E.; Mucur, S. P.; Parlak, E. A. Mater. Res. Express 2019, 6, 105108. |
| [138] | Choi, D.-w.; Park, J.-S. Surf. Coat. Tech. 2014, 259, 238. |
| [139] | Ritala, M.; Leskela, M.; Rauhala, E. Chem. Mater. 1994, 6, 556. |
| [140] | Jewel, M. U.; Mahmud, M. D. S.; Monne, M. A.; Zakhidov, A.; Chen, M. Y. RSC Adv. 2019, 9, 1841. |
| [141] | Mitchell, D. R. G.; Triani, G.; Attard, D. J.; Finnie, K. S.; Evans, P. J.; Barbé, C. J.; Bartlett, J. R. Smart Mater. Struct. 2005, 15, S57-S64. |
| [142] | Graff, G. L.; Williford, R. E.; Burrows, P. E. J. Appl. Phys. 2004, 96, 1840. |
| [143] | Chou, C.-T.; Yu, P.-W.; Tseng, M.-H.; Hsu, C.-C.; Shyue, J.-J.; Wang, C.-C.; Tsai, F.-Y. Adv. Mater. 2013, 25, 1750. |
| [144] | Song, S. H.; Lee, M. Y.; Lee, G. B.; Choi, B.-H. J. Vac. Sci. Technol. A 2017, 35, 01B110. |
| [145] | Li, Y.; Xiong, Y.; Yang, H.; Cao, K.; Chen, R. J. Mater. Res. 2020, 35, 681. |
| [146] | Meyer, J.; Görrn, P.; Bertram, F.; Hamwi, S.; Winkler, T.; Johannes, H.-H.; Weimann, T.; Hinze, P.; Riedl, T.; Kowalsky, W. Adv. Mater. 2009, 21, 1845. |
| [147] | Zhao, C.; Richard, O.; Bender, H.; Caymax, M.; De Gendt, S.; Heyns, M.; Young, E.; Roebben, G.; Van Der Biest, O.; Haukka, S. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 2374. |
| [148] | Meyer, J.; Kröger, M.; Hamwi, S.; Gnam, F.; Riedl, T.; Kowalsky, W.; Kahn, A. Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 193302. |
| [149] | Fukumizu, H.; Sekine, M.; Hori, M.; McIntyre, P. C. Jpn. J. Appl. Phys. 2020, 59, 016504. |
| [150] | Meyer, J.; Schmidt, H.; Kowalsky, W.; Riedl, T.; Kahn, A. Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 243308. |
| [151] | Seo, S.-W.; Chae, H.; Joon Seo, S.; Kyoon Chung, H.; Min Cho, S. Appl. Phys. Lett. 2013, 102, 161908. |
| [152] | Lee, W.; An, C.; Yoo, S.; Jeon, W.; Chung, M.; Kim, S. H.; Hwang, C. Phys Status Solidi (RRL) - Rapid Research Letters 2018, 12, 1800356. |
| [153] | Lee, U.; Choi, J.; Yang, B.; Oh, S.; Kim, Y.; Oh, M.; Heo, J.; Kim, H. J. ECS Solid State Lett. 2013, 2, R13-R15. |
| [154] | Park, S.-H. K.; Oh, J.; Hwang, C.-S.; Lee, J.-I.; Yang, Y. S.; Chu, H. Y. Electrochem. Solid-State Lett. 2005, 8, H21. |
| [155] | Tsai, Y.-S.; Chittawanij, A.; Juang, F.-S.; Lin, P.-C.; Hong, L.-A.; Tsai, F.-Y.; Tseng, M.-H.; Wang, C.-C.; Chen, C.-C.; Lin, K.-L.; Chen, S.-H. J. Phys. Chem. Solids 2015, 83, 135. |
| [156] | Lin, Y. Y.; Chang, Y. N.; Tseng, M. H.; Wang, C. C.; Tsai, F. Y. Nanotechnology 2015, 26, 024005. |
| [157] | Jensen, J. M.; Oelkers, A. B.; Toivola, R.; Johnson, D. C.; Elam, J. W.; George, S. M. Chem. Mater 2002, 14, 2276. |
| [158] | Choi, D.-w.; Kim, S.-J.; Lee, J. H.; Chung, K.-B.; Park, J.-S. Curr. Appl. Phys. 2012, 12, S19. |
| [159] | Elam, J. W.; Sechrist, Z. A.; George, S. M. Thin Solid Films 2002, 414, 43. |
| [160] | Seo, S.; Jeong, S.; Bae, C.; Park, N.-G.; Shin, H. Adv. Mater. 2018, 30, 1801010. |
| [161] | Singh, A.; Nehm, F.; Müller-Meskamp, L.; Hoßbach, C.; Albert, M.; Schroeder, U.; Leo, K.; Mikolajick, T. Org. Electron. 2014, 15, 2587. |
| [162] | Kim, L. H.; Kim, K.; Park, S.; Jeong, Y. J.; Kim, H.; Chung, D. S.; Kim, S. H.; Park, C. E. ACS Appl. Mater. Interfaces 2014, 6, 6731. |
| [163] | Kim, L. H.; Jeong, Y. J.; An, T. K.; Park, S.; Jang, J. H.; Nam, S.; Jang, J.; Kim, S. H.; Park, C. E. Phys. Chem. Chem. Phys. 2016, 18, 1042. |
| [164] | Iatsunskyi, I.; Coy, E.; Viter, R.; Nowaczyk, G.; Jancelewicz, M.; Baleviciute, I.; Załęski, K.; Jurga, S. J. Phys. Chem C 2015, 119, 20591. |
| [165] | Tripp, M. K.; Stampfer, C.; Miller, D. C.; Helbling, T.; Herrmann, C. F.; Hierold, C.; Gall, K.; George, S. M.; Bright, V. M. Sens. Actuator A: Phys. 2006, 130-131, 419. |
| [166] | Behrendt, A.; Meyer, J.; van de Weijer, P.; Gahlmann, T.; Heiderhoff, R.; Riedl, T. ACS Appl. Mater. Interfaces 2016, 8, 4056. |
| [167] | Bulusu, A.; Singh, A.; Wang, C. Y.; Dindar, A.; Fuentes-Hernandez, C.; Kim, H.; Cullen, D.; Kippelen, B.; Graham, S. J. Appl. Phys 2015, 118, 085501. |
| [168] | Keuning, W.; Van de Weijer, P.; Lifka, H.; Kessels, W.; Creatore, M. J. Vac. Sci. Technol A 2012, 30, 01A131. |
| [169] | Kwon, J. H.; Jeong, E. G.; Jeon, Y.; Kim, D.-G.; Lee, S.; Choi, K. C. ACS Appl. Mater. Interfaces 2019, 11, 3251. |
| [170] | Qin, C.; Yang, J.; Xu, T.; Ding, X.; Zhang, J. 2018 19th International Conference on Electronic Packaging Technology, IEEE, Shanghai, 2018, pp. 780-784. |
| [171] | Lee, Y. I.; Jeon, N. J.; Kim, B. J.; Shim, H.; Yang, T.-Y.; Seok, S. I.; Seo, J.; Im, S. G. Adv. Energ. Mater. 2018, 8, 1701928. |
| [172] | Yoo, B. M.; Shin, H. J.; Yoon, H. W.; Park, H. B. J. Appl. Polym. Sci. 2014, 131, 39628. |
| [173] | Berry, V. Carbon 2013, 62, 1. |
| [174] | Choi, K.; Nam, S.; Lee, Y.; Lee, M.; Jang, J.; Kim, S. J.; Jeong, Y. J.; Kim, H.; Bae, S.; Yoo, J.-B.; Cho, S. M.; Choi, J.-B.; Chung, H. K.; Ahn, J.-H.; Park, C. E.; Hong, B. H. ACS Nano 2015, 9, 5818. |
| [175] | Wirtz, C.; Berner, N. C.; Duesberg, G. S. Adv. Mater. Interfaces 2015, 2, 1500082. |
| [176] | Giesbers, A. J. M.; Bouten, P. C. P.; Cillessen, J. F. M.; van der Tempel, L.; Klootwijk, J. H.; Pesquera, A.; Centeno, A.; Zurutuza, A.; Balkenende, A. R. Solid State Commun. 2016, 229, 49. |
| [177] | Seo, T.; Lee, S.; Cho, H.; Chandramohan, S.; Suh, E.-K.; Lee, H.; Bae, S.; Kim, S.; Park, M.; Lee, J.; Kim, m. j. Sci. Rep.-UK 2016, 6, 24143. |
| [178] | Seo, H.-K.; Park, M.-H.; Kim, Y.-H.; Kwon, S.-J.; Jeong, S.-H.; Lee, T.-W. ACS Appl. Mater. Interfaces 2016, 8, 14725. |
| [179] | Aria, A. I.; Kidambi, P. R.; Weatherup, R. S.; Xiao, L.; Williams, J. A.; Hofmann, S. J. Phys. Chem. C 2016, 120, 2215. |
| [180] | Nam, T.; Park, Y. J.; Lee, H.; Oh, I.-K.; Ahn, J.-H.; Cho, S. M.; Kim, H.; Lee, H.-B.-R. Carbon 2017, 116, 553. |
| [181] | Thiele, C.; Felten, A.; Echtermeyer, T. J.; Ferrari, A. C.; Casiraghi, C.; v. Löhneysen, H.; Krupke, R. Carbon 2013, 64, 84. |
| [182] | Choi, D.-w.; Park, H.; Lim, J. H.; Han, T. H.; Park, J.-S. Carbon 2017, 125, 464. |
| [183] | Steim, R.; Kogler, F. R.; Brabec, C. J. J. Mater. Chem. 2010, 20, 2499. |
| [184] | Park, H.; Chang, S.; Smith, M.; Gradečak, S.; Kong, J. Sci. Rep. 2013, 3, 1581. |
| [185] | Sun, F. B.; Yu, D.; Yang, Y. Q.; Chen, P.; Duan, Y. H.; Wang, X.; Yang, D.; Xue, K. W. Org. Electron. 2014, 15, 2546. |
| [186] | Hwang, B.; Qaiser, N.; Lee, C.; Matteini, P.; Yoo, S. J.; Kim, H. J. Alloys Compd. 2020, 846, 156420. |
| [187] | Zhang, H.; Ding, H.; Wei, M.; Li, C.; Wei, B.; Zhang, J. Nanoscale Res. Lett. 2015, 10, 169. |
| [188] | Danforth, B. L.; Dickey, E. R. Surf. Coat. Tech. 2014, 241, 142. |
| [189] | Kim, H.; Ra, H. N.; Kim, M.; Kim, H. G.; Kim, S. S. Prog. Org. Coat. 2017, 108, 25. |
| [190] | Ghosh, A. P.; Gerenser, L. J.; Jarman, C. M.; Fornalik, J. E. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 223503. |
| [191] | Lee, S.; Han, J.-H.; Lee, S.-H.; Baek, G.-H.; Park, J.-S. JOM 2019, 71, 197. |
| [192] | Kim, M.; Mackenzie, D. M. A.; Kim, W.; Isakov, K.; Lipsanen, H. Appl. Surf. Sci. 2021, 551, 149410. |
| [193] | Han, Y. C.; Jeong, E. G.; Kim, H.; Kwon, S.; Im, H.-G.; Bae, B.-S.; Choi, K. C. RSC Adv. 2016, 6, 40835. |
| [194] | Choi, E. Y.; Kim, J.; Lim, S.; Han, E.; Ho-Baillie, A. W. Y.; Park, N. Sol. Energ. Mat. Sol. Cells 2018, 188, 37. |
| [195] | Chang, C.-Y.; Chou, C.-T.; Lee, Y.-J.; Chen, M.-J.; Tsai, F.-Y. Org. Electron. 2009, 10, 1300. |
/
| 〈 |
|
〉 |
