化学学报 ›› 1984, Vol. 42 ›› Issue (2): 125-129. 上一篇    下一篇

研究论文

半导体硅中电化学注锂的研究

彭瑞伍;丁永庆;李季龙   

  1. 中国科学院上海冶金研究所
  • 发布日期:1984-02-15

A study of electrochemical incorporation of Li into semiconductor Si

PENG RUIWU;DING YONGQING;LI JILONG   

  • Published:1984-02-15

关键词: 硅, 半导体材料, 掺杂, 锂, 电化学过程

Key words: SILICON, SEMICONDUCTOR MATERIAL, DOPE, LITHIUM, ELECTROCHEMICAL PROCESS

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