多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用

有机化学 ›› 2000, Vol. 20 ›› Issue (5): 787-789. 上一篇下一篇

研究论文

多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用

周峥嵘;丁宗彪;王全瑞;李峰;陶凤岗;徐伟;夏炎;章壮健;华中一

复旦大学化学系.上海(200433);复旦大学材料科学系.上海(200433)

发布日期:2000-10-25

synthesis and applications of tetrapolyfluoroaryl ethers of pentaerythritol in lowering interlayer dielectric constants

Zhou Zhengrong;Ding Zongbiao;Wang Quanrui;Li Feng;Tao Fenggang;Xu Wei;Xia Yan;Zhang Zhuangjian;Hua Zhongyi

Fudan Univ, Dept Chem.Shanghai(200433);Fudan Univ, Dept of Material Sci.Shanghai(200433)

Published:2000-10-25

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摘要/Abstract

合成了六个多氟代季戊四芳醚类化合物，并且对部分化合物掺杂于SiO~2薄膜的介电性质进行了研究。当氟原子掺杂浓度(F/Si)为1%时，薄膜介电常数K值小于3。

关键词: 季戊四芳醚, 有机氟化合物, 季戊四醇P, 氟代烃, 薄膜, 氟, 二氧化硅, 掺杂, 介电常数

Six tetrapolyfluoroaryl ethers and thioether of pentaerythritol have been synthesized by reaction of phenylsulfonate ester of pentaerythritol with the corresponding phenols or thiophenol. some products have been found to be amenable to lower greatly the value of dielectric constant K to below 3 when doped to SiO~1 films.

Key words: ORGANO FLUORINE COMPOUNDS, PENTAERYTHRITOL P, FLUOROHYDROCARBON, THIN FILMS, FLUORINE, SILICON DIOXIDE, DOPE, DIELECTRIC CONSTANT

中图分类号:

O627
TN304

引用此文

周峥嵘,丁宗彪,王全瑞,李峰,陶凤岗,徐伟,夏炎,章壮健,华中一. 多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用[J]. 有机化学, 2000, 20(5): 787-789.

Zhou Zhengrong;Ding Zongbiao;Wang Quanrui;Li Feng;Tao Fenggang;Xu Wei;Xia Yan;Zhang Zhuangjian;Hua Zhongyi. synthesis and applications of tetrapolyfluoroaryl ethers of pentaerythritol in lowering interlayer dielectric constants[J]. Chin. J. Org. Chem., 2000, 20(5): 787-789.

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多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用

synthesis and applications of tetrapolyfluoroaryl ethers of pentaerythritol in lowering interlayer dielectric constants

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